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| 媒体上的大连内容 |
| 来 源： |
辽宁日报 |
| 标 题： |
奔向世界气体纯化领域最前沿 |
| 日 期： |
2022-01-29 |
| 作 者： |
杨丽娟 |
1 月 26 日，大连华邦化学有限公司的生产车间里异常繁忙，工人们正 3 人一组，忙着给装配
好的气体纯化器打包装车。
“临近春节，客户催着交货。这才 1 月份，我们手里新增的订单就有 109 台，工人每天都要
加班。”车间主任李世海满脸自豪地告诉记者。
2021 年跻身国家级专精特新“小巨人”企业的大连华邦，主打产品气体纯化器是半导体芯片
生产过程中的关键配套设备。此前，世界上只有美国、日本、韩国能够生产这种设备。通过核心
技术攻关，大连华邦研发生产的 9N 级气体纯化器，产出气体纯度超过国家最高标准 3 个数量级，
技术水平达到国际一流水平，填补了半导体生产关键设备的国内空白。
“在国内 12 寸等高端产线，我们的市场占有率超过 80%；主打产品纯化器应用广泛，包含
IC、TFT、IGBT、LED 等领域，客户数量超过 1000 家，市场占有率保持国内第一。”大连华邦总
经理侯鹏告诉记者。2021 年，公司设备销售量同比增长 3 倍，销售额同比增长 4 倍，并且实现海
外出口，产品在国际知名的半导体产线得到应用。
这边生产紧锣密鼓，那边科研快马加鞭。
在摆满各种玻璃容器和实验装备的纯化实验室里，研发人员正在进行填料性能测试。据研发
部部长钱吉介绍，大连华邦研制的 9N 级气体纯化器，可将气体中的杂质脱除至十亿分之一以下，
相当于 10 亿个气体分子中，杂质的含量要小于 1 个分子。其中，纯化器使用的填料是关键。今
年，研发部瞄准国际先进技术，进行氢气低温吸附纯化研究，开发新的填料，争取在年内把低温
吸附的填料配方固定下来，利用 2 年到 3 年时间，研发出性能成本在市场上具有竞争力的低温吸
附型纯化器。
“以前我们是追赶国外技术，现在我们实现了超越。”钱吉说，目前，大连华邦已经有 700
多台设备投放到市场，运行指标非常好，得到许多在中国的国际性气体公司的充分认可。
随着半导体产业的迅猛发展并不断升级，芯片线宽已经达 3 纳米级，对纯化器产气纯度的要
求越来越高，种类需求也越来越多，“我们争取利用 5 年到 10 年时间，站上世界气体纯化领域的
最前沿。”对于未来，侯鹏信心满怀。 |
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